Computer investigations of the influences of magnets for magnetron-sputtering

Les Ulis / EDP Sciences (1993) [Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband]

The 3rd European Conference on Advanced Materials and Processes : Paris, 8 - 10 June, 1993 = Troisième Conférence Européenne sur les
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Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Knotek, Otto
Löffler, F.
Schnaut, U.
Guan, W.

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