Industrial deposition of binary, ternary and quaternary nitrides of titanium, zirconium and aluminium

New York, NY / American Vacuum Society (1987) [Fachzeitschriftenartikel]

Journal of vacuum science & technology / A, Vacuum, surfaces, & films
Band: 5
Seite(n): 2173-2179

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Knotek, O.
Münz, W.-D.
Leyendecker, Thorsten

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-116627