On magnetron sputtered diffusion barriers

(1991) [Beitrag zu einem Tagungsband]

Int. Conf. on High Temp. Intermetallics. London, Großbritannien 1991

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Knotek, O.
Löffler, F.
Beele, W.

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-190740