Reproducable arc-PVD process management under various reactive gases

(1991) [Beitrag zu einem Tagungsband]

3. Eur. Vacuum Conf. Wien, Österreich 1991

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Knotek, O.
Löffler, F.
Krämer, G.
Stössel, C.

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-190721