Abscheidung von Multilayer-Schichten mittels PVD-Technologie

(1991) [Beitrag zu einem Tagungsband]

Fachtagg. 'Amorphe und nanodispersive Schichtsysteme'. Chemnitz 1991

Autorinnen und Autoren

Ausgewählte Autorinnen und Autoren

Knotek, O.
Löffler, F.

Identifikationsnummern

  • REPORT NUMBER: RWTH-CONV-190288